N. Oda, M. Shimozuma and H. Tagashira: "Characterization of SiNx From by Temperature Low Frequency (50Hz) Plasma CVD." Sinku (Vacuum). 30. 24 - 30 (1987)
N. Oda, M. Shimozuma and H. Tagashira: "Characterization of SiNx From by Temperature Low Frequency (50Hz) Plasma CVD." Sinku (Vacuum). 30. 24 - 30 (1987)
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N. Oda、M. Shimozuma 和 H. Tagashira：“通过温度低频 (50Hz) 等离子体 CVD 表征 SiNx。”
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