Hui You et al.: "Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication"Fourth International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (Baden-Baden, June). 13-14 (2001)
Hui You et al.: "Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication"Fourth International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (Baden-Baden, June). 13-14 (2001)
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Hui You等人：“Moving Mask Deep X-ray Lithography System with Multi Stage for 3-D Microfabrication”第四届高深宽比微结构技术国际研讨会（巴登-巴登，六月）。
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