Electronic sensing of mechanical damage on a single crystal silicon surface
Electronic sensing of mechanical damage on a single crystal silicon surface
复制标题
单晶硅表面机械损伤的电子传感
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Tokuda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Ogawa;S. Kamiya;H. Izumi;Y. Tokuda
