Study on Fabrication of Ni Mirror Chip for Space X-ray Telescopes Utilizing LIGA Process
Study on Fabrication of Ni Mirror Chip for Space X-ray Telescopes Utilizing LIGA Process
复制标题
LIGA工艺制作空间X射线望远镜镍镜芯片的研究
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Horade;et al.
