プラズマ励起法を用いたナノ微粒子用原子層堆積装置開発
プラズマ励起法を用いたナノ微粒子用原子層堆積装置開発
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等离子体激发法纳米颗粒原子层沉积装置的研制
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣瀬文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊地航;鹿又健作;有馬ボシルアハンマド;久保田繁;廣瀬文彦
