弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御
弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御
复制标题
弹性导轨超精密平面定位机构动态特性及控制
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西村建太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松田智明;深田茂生;西村建太郎
