Resonant Drive of All-around Scanning MEMS Mirror with Piezoelectric Actuators
Resonant Drive of All-around Scanning MEMS Mirror with Piezoelectric Actuators
复制标题
带压电执行器的全向扫描MEMS镜的谐振驱动
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Maenaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kajiyama;Y. Hirata;Y. Shimakura;K. Kanda;T. Fujita;K. Maenaka
