Surface roughening of homoepitaxial diamond (111) films by oxygen addition
Surface roughening of homoepitaxial diamond (111) films by oxygen addition
复制标题
加氧对同质外延金刚石（111）薄膜进行表面粗糙化
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takao Inokuma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ikki Baba;Daiki Kanata;Shunsuke Watanabe;Tohiharu Makino;Masahiko Ogura;Satoshi Yamasaki2;Norio Tokuda;Takao Inokuma
