Effects of Sl impurity on the nucleation and growth of cubic boron nitride thin films

Effects of Sl impurity on the nucleation and growth of cubic boron nitride thin films
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Sl杂质对立方氮化硼薄膜成核和生长的影响

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
SUFRACE & COATING TECUNOLOGY 201
影响因子:
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通讯作者:
T.Yoshida
T.Yoshida
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H.Oba;K.Nose;T.Yoshida

文献摘要

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