Effects of Sl impurity on the nucleation and growth of cubic boron nitride thin films
Effects of Sl impurity on the nucleation and growth of cubic boron nitride thin films
复制标题
Sl杂质对立方氮化硼薄膜成核和生长的影响
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T.Yoshida
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H.Oba;K.Nose;T.Yoshida