Electrical Properties of Si-Ion Implanted AlN
Electrical Properties of Si-Ion Implanted AlN
复制标题
硅离子注入 AlN 的电性能
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Palacios
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Okumura;S. Suihkonen;and T. Palacios
