Heteroepitaxial growth of ε-Ga2O3 thin films on (111) 3C-SiC templates by mist chemical vapor deposition
Heteroepitaxial growth of ε-Ga2O3 thin films on (111) 3C-SiC templates by mist chemical vapor deposition
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喷雾化学气相沉积法在 (111) 3C-SiC 模板上异质外延生长 ε-Ga2O3 薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Sasa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kaneko;S. Fujiwara;M. Koyama;T. Maemoto;and S. Sasa
