水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(2)
水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(2)
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使用水热合成 ZnO 靶材进行 ZnO 薄膜的螺旋波激发等离子体溅射外延 (2)
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古澤健太郎,中沢駿仁,石川陽一,田代公則,秩父重英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ken Someno;Kouichi Usami;Tetsuo Kodera;Yukio Kawano;Mutsuko Hatano;Shunri Oda;古澤健太郎,中沢駿仁,石川陽一,田代公則,秩父重英
