Comparison of modeling calculations with experimental results for rf glow discharge optical emission spectrometry
Comparison of modeling calculations with experimental results for rf glow discharge optical emission spectrometry
复制标题
射频辉光放电发射光谱法建模计算与实验结果的比较
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Wetzig
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Bogaerts;L. Wilken;V. Hoffmann;R. Gijbels;K. Wetzig
