研削加工によるホモエピタキシャル成長用下地ダイヤモンド基板の作成と評価
研削加工によるホモエピタキシャル成長用下地ダイヤモンド基板の作成と評価
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用于研磨同质外延生长的金刚石基底基底的创建和评估
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
南方啓貴，川口正悟，福田雅人，大宮裕之，大島龍司，會田英雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木和幸;岡本欣久;長谷川友;紀狩野紀昭;Hama Takayuki;南方啓貴，川口正悟，福田雅人，大宮裕之，大島龍司，會田英雄
