スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性
スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性
复制标题
溅射TiC薄膜的微观力学性能
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松室昭仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
粕谷健太;高木誠;松室昭仁
