碳含量对碳氮化硅薄膜化学结构和力学性能的影响
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐军
中科院分区：
文献类型：
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作者：
朴勇;丁万昱;陆文琪;马腾才;高鹏;徐军
