ModelingNanoのための3次元光学顕微計測に関する研究（多光束干渉を利用した広範囲3次元変調照明生成・制御装置の開発）
ModelingNanoのための3次元光学顕微計測に関する研究（多光束干渉を利用した広範囲3次元変調照明生成・制御装置の開発）
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ModelingNano的3D光学显微测量研究（利用多光束干涉开发宽范围3D调制照明生成和控制装置）
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
加仲啓祥，臼杵深，三浦憲二郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加仲啓祥，臼杵深，三浦憲二郎
