Y.UCHIDA: "Preparation of Low-K Films Incorporated with Alkylene groups"Proc. of 8th Int'l. DCMIC. 57-64 (2002)
Y.UCHIDA: "Preparation of Low-K Films Incorporated with Alkylene groups"Proc. of 8th Int'l. DCMIC. 57-64 (2002)
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Y.UCHIDA：“掺有亚烷基的低 K 薄膜的制备”Proc。
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