Qualitative and quantitative characterization of outgassing from SU-8
Qualitative and quantitative characterization of outgassing from SU-8
复制标题
SU-8 排气的定性和定量表征
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
J. Schmitz
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Melai;C. Salm;R. Wolters;J. Schmitz
