円筒表面形状のナノレベル測定を目指した広視野レーザ干渉計の開発－円筒面上の微小痕観察による性能評価－
円筒表面形状のナノレベル測定を目指した広視野レーザ干渉計の開発－円筒面上の微小痕観察による性能評価－
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开发以纳米级测量圆柱面形状为目的的宽视场激光干涉仪 - 通过观察圆柱面的微小标记来评价性能 -
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡辺 敏博，佐久間 俊介，月山 陽介， 新田 勇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kimie Tanaka; Masataka Sata; Issei Komuro; Toshiki Saotome; Yamashita Yoshihiro; Tetsuo Asakura;渡辺 敏博，佐久間 俊介，月山 陽介， 新田 勇
