電子線誘起電流を用いた圧縮応力下におけるシリコンの疲労損傷の観察
電子線誘起電流を用いた圧縮応力下におけるシリコンの疲労損傷の観察
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利用电子束感应电流观察压应力下硅的疲劳损伤
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小川将史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
喜多俊文;神谷庄司;泉隼人;梅原徳次;野老山貴行;Ve Le Huy;小川将史
