Effect of nitrogen flow ratio on the structure and optical properties of AlN film
Effect of nitrogen flow ratio on the structure and optical properties of AlN film
复制标题
DOI：
10.1016/j.vacuum.2023.112829
复制
发表时间：
2023-11
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Xu Jiang;Yanxia Wu;Jiawei Qi;Ying Liu;Yongsheng Wang;Jie Gao;H. Hei;Shengwang Yu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xu Jiang;Yanxia Wu;Jiawei Qi;Ying Liu;Yongsheng Wang;Jie Gao;H. Hei;Shengwang Yu
