ディップペン・ナノリソグラフィーの分子動力学シミュレーション

ディップペン・ナノリソグラフィーの分子動力学シミュレーション
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浸笔纳米光刻的分子动力学模拟

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年度精密工学会春季大会講演会論文集
影响因子:
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通讯作者:
稲村豊四郎
稲村豊四郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
橋本剛;山田耕一郎;武澤伸浩;稲村豊四郎

文献摘要

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