東北大学における三次元積層技術とヘテロインテグレーション
東北大学における三次元積層技術とヘテロインテグレーション
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东北大学的 3D 堆叠技术和异质集成
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小柳光正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李康旭;福島誉史;田中徹;小柳光正
