GaAsの金属触媒エッチングに対するエッチャント温度の効果
GaAsの金属触媒エッチングに対するエッチャント温度の効果
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刻蚀剂温度对GaAs金属催化刻蚀的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
阿相英孝,尾熊健一,小野幸子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
越崎 直人;Alexander Pyatenko;Xiangyou Li;Zaneta Swiatkowska;石川 善恵;宮崎 忠;阿相英孝,尾熊健一,小野幸子
