木下 治久: "高均一・高密度0_2スーパーマグネトロンプラズマの発生とレジストの超微細エッチング" 静岡大学電子工学研究所研究報告. 27. 47-59 (1992)

木下 治久: "高均一・高密度0_2スーパーマグネトロンプラズマの発生とレジストの超微細エッチング" 静岡大学電子工学研究所研究報告. 27. 47-59 (1992)
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Haruhisa Kinoshita:“高度均匀和高密度0_2超磁控等离子体的生成和抗蚀剂的超精细蚀刻”静冈大学电子研究所研究报告27。47-59(1992)。

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