Formation of ion tracks in amorphous silicon nitride films with MeV C60 ions
Formation of ion tracks in amorphous silicon nitride films with MeV C60 ions
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用 MeV C60 离子在非晶氮化硅薄膜中形成离子轨迹
DOI：
10.1016/j.nimb.2015.07.089
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and K. Kimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kitayama;Y. Morita;K. Nakajima;K. Narumi;Y. Saitoh;M. Matsuda;M. Sataka;M. Tsujimoto;S. Isoda;M. Toulemonde;and K. Kimura
