Y.Ohtsu: "Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma"Japanese Journal Applied Physics. 42・12. 7552-7556 (2003)
Y.Ohtsu: "Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma"Japanese Journal Applied Physics. 42・12. 7552-7556 (2003)
复制标题
Y. Ohtsu：“电子回旋共振微波等离子体中离子撞击 RF 偏置基底的时间平均能量分布函数”日本应用物理学杂志 42・12（2003 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
