土谷、三輪、金子: "半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響"電気学会論文誌E.
土谷、三輪、金子: "半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響"電気学会論文誌E.
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Tsuchiya、Miwa、Kaneko：“杂质浓度对半导体静电致动器运行的影响”，日本电气工程师学会汇刊 E.
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