Droplet-Vaporization Behavior Analysis in Plasma for Fabrication of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films by Plasma-assisted Mist CVD
Droplet-Vaporization Behavior Analysis in Plasma for Fabrication of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films by Plasma-assisted Mist CVD
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等离子体辅助雾气 CVD 制造 3D 纳米结构氧化锌薄膜的液滴蒸发行为分析
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Susumu Toko and Yuichi Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kosuke Takenaka;Susumu Toko and Yuichi Setsuhara
