静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去
静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去
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通过静电吸附去除硅表面的细小颗粒
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋主人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柴山;朝生;山内;中野;T. Hayashi;H. Onodera and K. Horio;荻原 昭文;高橋主人
