増井寛二: "高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究"名古屋工業大学紀要. 50. 141-146 (1998)

増井寛二: "高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究"名古屋工業大学紀要. 50. 141-146 (1998)
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增井宽二:《高频稀有气体等离子体溅射现象的研究》名古屋工业大学学报50. 141-146(1998)。

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