増井寛二: "高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究"名古屋工業大学紀要. 50. 141-146 (1998)
増井寛二: "高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究"名古屋工業大学紀要. 50. 141-146 (1998)
复制标题
增井宽二:《高频稀有气体等离子体溅射现象的研究》名古屋工业大学学报50. 141-146(1998)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: