半導体スピン素子のための高濃度p型Si層の作製

半導体スピン素子のための高濃度p型Si層の作製
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用于半导体自旋器件的高浓度p型硅层的制备

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石川 瑞恵
石川 瑞恵
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
渡部陸矢;竹田直樹;春谷慶太朗;高橋宏輔;上谷幸治郎;常安翔太;佐藤利文;石川 瑞恵

文献摘要

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