三次元デバイス応用に向けたグリーンレーザーアニールによる積層構造多結晶シリコン薄膜の同時結晶化技術
三次元デバイス応用に向けたグリーンレーザーアニールによる積層構造多結晶シリコン薄膜の同時結晶化技術
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用于三维器件应用的使用绿光激光退火的堆叠多晶硅薄膜同步结晶技术
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山崎浩司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Tatebayashi;Y. Ota;S. Ishida;M. Nishioka;S. Iwamoto and Y. Arakawa;Seiji Nakashima;J. Nishinaga;山崎浩司
