Deposition of Mechanically Hard Amorphous Carbon Nitride Films with High [N]/([N]十[c]) Ratio
Deposition of Mechanically Hard Amorphous Carbon Nitride Films with High [N]/([N]十[c]) Ratio
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沉积具有高 [N]/([N]ten[c]) 比的机械硬质非晶氮化碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Saitoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Ito;H. Saitoh
