Illustration of the industrial readiness of hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) as part of standard micro-fabrication and high spec nanofabrication production lines
Illustration of the industrial readiness of hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) as part of standard micro-fabrication and high spec nanofabrication production lines
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作为标准微加工和高规格纳米加工生产线一部分的热丝化学气相沉积 (HWCVD) 的工业准备情况图示
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Tarazona
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Tarazona
