単一イオン注入装置用二段加速レンズの設計
単一イオン注入装置用二段加速レンズの設計
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单离子注入机两级加速透镜设计
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤勇一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石井保行;宮脇信正;百合庸介;小野田忍;鳴海一雅;齋藤勇一
