Kiyoshi Ishii: "The effects of low voltage substrate bias on Fe films in GFS process." J.Vac.Sci.Technol.A,.
Kiyoshi Ishii: "The effects of low voltage substrate bias on Fe films in GFS process." J.Vac.Sci.Technol.A,.
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Kiyoshi Ishii：“GFS 工艺中低压衬底偏压对 Fe 薄膜的影响。”
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