Y.Watanabe: "Formation kinetics and control of dust particles in capacitively-coupled reactive plasmas"Japanese Journal of Applied Physics. T89. 29-32 (2001)
Y.Watanabe: "Formation kinetics and control of dust particles in capacitively-coupled reactive plasmas"Japanese Journal of Applied Physics. T89. 29-32 (2001)
复制标题
Y.Watanabe:“电容耦合反应等离子体中尘埃粒子的形成动力学和控制”日本应用物理学杂志。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: