Heat Resistance of Silicone-Doped DLC Films Deposited by PBIID

Heat Resistance of Silicone-Doped DLC Films Deposited by PBIID
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PBIID 沉积硅掺杂 DLC 薄膜的耐热性

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proc.of Malaysia-Japan International Symposium on Advanced Technology 2007 (CD-ROM)
影响因子：
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通讯作者：
Yasuhiro Miki
Yasuhiro Miki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Kimiko Nakai;Syungo Kiyota;Takashi Matsuoka;Tomoko Hirayama;Makoto Asano;Yasuhiro Miki

文献摘要

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