SOIウェハ上における沿面放電現象
SOIウェハ上における沿面放電現象
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SOI晶圆上的沿面放电现象
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三田吉朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林純也;安井遼;熊田亜紀子;日高邦彦;三田吉朗
