ストレスマイグレーションによるAgヒロック生成に及ぼす保護膜の影響
ストレスマイグレーションによるAgヒロック生成に及ぼす保護膜の影響
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保护膜对应力迁移银丘形成的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂真澄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安田真;燈明泰成;坂真澄
