Validation of Hybrid Particle-in-cell Simulation for Application to Reactive Plasma Deposition Equipment
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复制标题
混合颗粒细胞模拟在反应等离子体沉积设备中的应用验证
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川嶋 嶺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Fukui;Y.;et al.;川嶋 嶺
