接触面積を制御したnm薄膜に非破壊で電気コンタクトするプローブの開発

接触面積を制御したnm薄膜に非破壊で電気コンタクトするプローブの開発
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开发一种探针,可与接触面积受控的纳米薄膜进行非破坏性电接触

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
知京豊裕
知京豊裕
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
吉武道子;柳生進二郎;知京豊裕

文献摘要

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