Measurements of Absolute Density and Translational Temperature of Hydrogen Atoms in the High Prssure VHF Capasitively Coupled Plasma
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高压VHF电容耦合等离子体中氢原子绝对密度和平移温度的测量
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Abe;K. Takeda;M. Sekine;M. Hori
