Auで被覆した加熱基板へのスパッタによるGe薄膜の結晶化

Auで被覆した加熱基板へのスパッタによるGe薄膜の結晶化
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通过溅射到镀金加热基板上使 Ge 薄膜结晶

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
弓野健太郎
弓野健太郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
赤坂駿英;弓野健太郎

文献摘要

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