ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上

ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上
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ZnO薄膜Mg、Ca掺杂提高UHF频段机电耦合系数kt2

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柳谷隆彦
柳谷隆彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
泉航太;柳谷隆彦

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