霜垣,幸浩,他: "WSix-CVDプロセスの反応機構" 電子情報通信学会技術研究報告. 94. 25-30 (1995)
霜垣,幸浩,他: "WSix-CVDプロセスの反応機構" 電子情報通信学会技術研究報告. 94. 25-30 (1995)
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Shimogaki, Yukihiro, et al.：“WSix-CVD 工艺的反应机理”IEICE 技术研究报告。 94. 25-30 (1995)。
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