Argon Cluster-Ion Sputter Yield: Molecular Dynamics Simulations on Silicon and an Equation for Estimating Total Sputter Yield
Argon Cluster-Ion Sputter Yield: Molecular Dynamics Simulations on Silicon and an Equation for Estimating Total Sputter Yield
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氩簇离子溅射产额：硅上的分子动力学模拟和估计总溅射产额的方程
DOI：
10.48550/arxiv.1710.00367
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Cumpson P
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Cumpson P
