Properties of inductively coupled rf CH_4/H_2 plasmas : experiments and global model
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电感耦合射频CH_4/H_2等离子体的特性：实验和全局模型
DOI：
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发表时间：
2012
影响因子：
1.5
通讯作者：
T. Kimura and H. Kasugai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村真人;関川純哉;T. Kimura and H. Kasugai
